Естествознание. Энциклопедический словарь - фотолитография
Фотолитография
фотолитография
в планарной технологии, способ образования на поверхности полупроводн. кристалла (подложки) маски с "окнами" определ. форм и размеров для последующего формирования элементов интегральных схем и др. электронных приборов. Осуществляется фотокопированием изображения маски на слой фоторезиста (покрывающий кристалл), к-рый после соотв.
хим. обработки (вскрытия "окон") становится такой маской.Естествознание. Энциклопедический словарь
.
Рейтинг статьи:
Вопрос-ответ:
Похожие слова
Ссылка для сайта или блога:
Ссылка для форума (bb-код):
Самые популярные термины
1 | 390 | |
2 | 376 | |
3 | 373 | |
4 | 370 | |
5 | 357 | |
6 | 353 | |
7 | 350 | |
8 | 345 | |
9 | 338 | |
10 | 338 | |
11 | 335 | |
12 | 334 | |
13 | 329 | |
14 | 325 | |
15 | 322 | |
16 | 319 | |
17 | 318 | |
18 | 316 | |
19 | 308 | |
20 | 306 |