Физическая энциклопедия - эллипсометрия
Эллипсометрия
эллипсометрия
совокупность методов изучения поверхностей жидких и тв. тел по состоянию поляризации светового пучка, отражённого этой поверхностью и преломлённого на ней. Падающий на поверхность плоско поляризованный свет приобретает при отражении и преломлении эллиптич. поляризацию вследствие наличия тонкого переходного слоя на границе раздела сред. Зависимость между оптич, постоянными слоя и параметрами эллиптически поляризованного света устанавливается на основании Френеля формул. На принципах Э. построены методы чувствительных бесконтактных исследований поверхности жидкости или тв. в-в, процессов адсорбции, коррозии и др. В кач-ве источника света в Э. используется монохроматическое излучение зелёной линии ртути, а в последнее время -луч лазера, что даёт возможность исследовать микронеоднородности на поверхности изучаемого объекта. Получило развитие также новое направление спектральной Э. в широком интервале длин волн, существенное при исследованиях ат. состава неоднородных и анизотропных поверхностей и плёнок. .
Рейтинг статьи:
Вопрос-ответ:
Ссылка для сайта или блога:
Ссылка для форума (bb-код):
Самые популярные термины
1 | 501 | |
2 | 417 | |
3 | 411 | |
4 | 405 | |
5 | 395 | |
6 | 394 | |
7 | 393 | |
8 | 385 | |
9 | 380 | |
10 | 377 | |
11 | 376 | |
12 | 367 | |
13 | 363 | |
14 | 361 | |
15 | 360 | |
16 | 359 | |
17 | 358 | |
18 | 356 | |
19 | 353 | |
20 | 343 |