Большой энциклопедический политехнический словарь - фотолитография

(от фото... и литография) 1) Ф. в полиграфии фотомеханич. способ изготовления формы плоской прямой печати на камне, металлич. пластине, а также оттиск с такой формы. Методы Ф. применяют и в технологии изготовления миниатюрных электронных устройств на интегр. микросхемах.

2) Ф. в электронике способ формирования рельефного изображения в слое металла, диэлектрика или ПП с использованием спец. материалов, чувствит. к УФ излучению (т. н. фоторезистов). Цель Ф. создать в слое фоторезиста "окна" заданной конфигурации для доступа травителей к расположенной под ним подложке (напр., ПП пластине с оксидной плёнкой). Применяется в электронном приборостроении при изготовлении интегральных схем, запоминающих устройств, прецизионных фотошаблонов и т. д. с размерами элементов 1 2 мкм и более.

Большой энциклопедический политехнический словарь

2004