Энциклопедический словарь нанотехнологий - эллипсометрия

Термин на английском

ellipsometryСинонимы

Аббревиатуры

Связанные термины

протеомикаОпределение

Метод исследования свойств вещества на границе (поверхности) раздела различных сред и происходящих в нем явлений (адсорбции, окисления и т. д.) по изменению параметров эллиптической поляризации отраженного света.
Описание

Основная область применения эллипсометрии исследование оптических свойств материалов. Это включает в себя измерения оптических постоянных тонких (например, оксидных) пленок, а также их толщин в диапазоне, существенно меньшем длины волны света. Интерес к эллипсометрии возрос в 70-80-х гг. 20 в. в связи с особым значением, которое стали придавать анализу структуры, изучению физико-химических свойств и контролю чистоты поверхностей вследствие быстрого развития твердотельной (прежде всего, полупроводниковой) электроники. Эллипсометрия используется также для исследования адсорбции в глубоком вакууме на плоских поверхностях металлов, адсорбции полимеров на границе жидкость-газ и жидкость-жидкость, процессов катализа на микроуровне, свойств верхних слоев поверхностей, подвергнутых коррозии, в электрохимии для изучения окисления электродов, в микробиологии для исследования оболочек клеток и липидных мембран и др.

Достоинствами эллипсометрии являются простота и быстрота измерений (имеются автоматические эллипсометры), возможность производить их в ходе процесса (in situ), в вакууме, при высоких температурах, в агрессивных средах; кроме того, при экспериментах поверхности не загрязняются и не разрушаются. Главный недостаток метода трудность правильного выбора модели отражающей системы и интерпретации результатов измерений. Поэтому наиболее перспективно сочетание эллипсометрии с другими методами исследования поверхности, например с оже-спектроскопией, УФ и рентгеновской спектроскопией, методами дифракции электронов и рассеяния ионов.

• Вересов Александр Генрихович, к.х.н.

Теги

Разделы

Оптический контроль (профилометрия, флуоресценция, эллипсометрия, конфокальная микроскопия)