Энциклопедический словарь нанотехнологий - физические методы (лазерные электронно-лучевые ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин

Подразделы

• Поликристаллические слои
• Эпитаксиальные слои

Статьи

• абляция
• адсорбция
• биосовместимые покрытия
• гетероэпитаксия
• гомоэпитаксия
• зародышеобразование
• криоконденсация
• механизм роста Странского Крастанова
• механизм роста Франка – Ван дер Мерве
• механизмы роста тонких пленок
• микроморфология
• осаждение атомных слоев
• островок
• плазменно-химическое осаждение из газовой фазы

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано.

2010.