Энциклопедический словарь нанотехнологий - фокусированный ионный пучок

Термин на английском

focused ion beamСинонимы

Аббревиатуры

FIBСвязанные термины

Определение

концентрированный поток ионов, который используют в современных исследовательских приборах и технике для интенсивной и прецизионной обработки разных материаловОписание

При получении и обработке неорганических материалов применяются жёсткие методы ионизации вещества, поскольку энергии связи атомов в твёрдом теле весьма велики, и для разрыва этих связей с образованием ионов необходимо еще более высокоэнергетическое воздействие.

Среди методов ионизации следует отметить:

• ионизацию в индуктивно-связанной плазме (ICP);
• термоионизацию или поверхностная ионизацию;
• ионизацию в тлеющем разряде и искровую ионизацию (см. искровой разряд);
• ионизацию в процессе лазерной абляции.

В современной практике для получения нано/микроструктур широко используются жидкометаллические ионные источники (Ga⁺). Все большее распространение получают приборы с гелиевыми источниками. Для фокусировки ионного пучка используют электромагнитные линзы.

Использование фокусированных ионных пучков лежит в основе работы ионных микроскопов, приборов для прецизионной ионной резки и травления материалов, масс-спектрометров, адронных коллайдеров и др.

• Вересов Александр Генрихович, к.х.н.
• Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.

Теги

Разделы

Фокусированная ионная резка

Наноимпринтинг и травление

Прецизионная обработка поверхности сложной формы

Методы обработки и формирования структур с прецизионным позиционированием (нанолитография, нанообработка, нанопечать, наноструйная техника и другое)