Энциклопедический словарь нанотехнологий - фоторезист
Фоторезист
Термин на английском
Синонимы
Аббревиатуры
Связанные термины
литография, травление в литографииОпределение
светоили рентгеночувствительный материал на полимерной основе, используемый для нанесения пленочного покрытия на подложку в литографическом процессе путем его облучения (экспонирования) через маску с проекциями элементов электронной схемы и последующего проявления (травления в растворителе) так, что изображение схемы переносится на подложку.Описание
В зависимости от характера изменения структуры и свойств в результате облучения, фоторезисты делят на негативные и позитивные. Если в результате облучения пленка полимеризуется и теряет растворимость, то обработка растворителем (проявление) ведет к удалению только необлученных участков, и на подложке возникает негативное изображение маски. Соответствующие фоторезисты называются негативными. Если после облучения фоторезист становится растворимым, то при облучении через маску и последующем проявлении удаляются облученные участки, и на подложке возникает позитивное изображение маски. Такие фоторезисты называют позитивными. Позитивные фоторезисты позволяют более точно передавать мелкие геометрические детали изображения по сравнению с негативными. Позитивные фоторезисты изготовляют из фенолоили крезолоформальдегидной смолы с о-нафтохинондиазидом, негативные из поливинилового спирта с солями хромовых кислот или циклизованного каучука с добавками, вызывающими “сшивание” макромолекул при облучении.
Авторы- Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
Установка для нанесения фоторезиста |
Теги
Разделы
Оптическая литография
Управляемые методы формирования наноструктур
Вопрос-ответ:
Похожие слова
Самые популярные термины
1 | 1083 | |
2 | 478 | |
3 | 385 | |
4 | 324 | |
5 | 318 | |
6 | 318 | |
7 | 316 | |
8 | 308 | |
9 | 297 | |
10 | 295 | |
11 | 293 | |
12 | 293 | |
13 | 287 | |
14 | 285 | |
15 | 285 | |
16 | 271 | |
17 | 266 | |
18 | 262 | |
19 | 262 | |
20 | 247 |