Энциклопедический словарь нанотехнологий - химическое термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе cvd evd mocvd pvd и аналоги)

Подразделы

• Поликристаллические слои
• Эпитаксиальные слои

Статьи

• адгезия
• волокна, борные
• волокна, карбидкремниевые
• гетероэпитаксия
• зародышеобразование
• криоконденсация
• механизм роста Странского Крастанова
• механизм роста Франка – Ван дер Мерве
• механизмы роста тонких пленок
• микроморфология
• островок
• физическое осаждение из газовой фазы
• химическое осаждение из паров металлорганических соединений
• эпитаксия газофазная

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано.

2010.