Энциклопедический словарь нанотехнологий - литография электронно-лучевая
Литография электронно-лучевая
Термин на английском
electron beam lithographyСинонимы
Аббревиатуры
Связанные термины
литографияОпределение
нанотехнология электронных микросхем, использующая литографический процесс с экспонированием (облучением) резиста с помощью электронного пучка
ОписаниеИмеются две системы электронно-лучевой литографии – сканирующая и проекционная.
В сканирующей электронно-лучевой литографии резист экспонируется (сканируется) последовательно перемещаемым в плоскости рисунка фокусированным пучком электронов. Управление электронным лучом производится по определенной программе с помощью компьютера, поэтому не нужно применять какие-либо шаблоны или маски, но последовательное сканирование всего рисунка увеличивает время экспонирования.
В проекционной электронно-лучевой литографии широкий нефокусированный поток электронов используется для получения всего рисунка в течение одной экспозиции. В такой системе фотокатод расположен на поверхности оптической маски с заданным рисунком. Ультрафиолетовые лучи облучают фотокатодный слой через маску, что вызывает эмиссию электронов с фотокатода в облученных местах рисунка. Эти электроны проецируются на поверхность резиста с помощью однородных электростатических и магнитных полей. В результате на всей площади подложки рисунок создается за одну экспозицию.
Авторы- Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
проекционная система электронно-лучевой литографии | |
сканирующая система электронно-лучевой литографии |
Теги
Разделы
Управляемые методы формирования наноструктур
Методы обработки и формирования структур с прецизионным позиционированием (нанолитография, нанообработка, нанопечать, наноструйная техника и другое)
Вопрос-ответ:
Похожие слова
Самые популярные термины
1 | 1083 | |
2 | 478 | |
3 | 385 | |
4 | 324 | |
5 | 318 | |
6 | 318 | |
7 | 316 | |
8 | 308 | |
9 | 297 | |
10 | 295 | |
11 | 293 | |
12 | 293 | |
13 | 287 | |
14 | 285 | |
15 | 285 | |
16 | 271 | |
17 | 266 | |
18 | 262 | |
19 | 262 | |
20 | 247 |