Энциклопедический словарь нанотехнологий - тонкие пленки

Термин на английском

thin filmsСинонимы

Аббревиатуры

Связанные термины

физическое осаждение из газовой фазы, квантовая яма, осаждение атомных слоев, плазменно-химическое осаждение из газовой фазы, поверхность, подложка, рентгеновская спектроскопия, электронная микроскопияОпределение

Тонкие слои материала, толщина которых находится в диапазоне от долей нанометра (моноатомного слоя) до нескольких микрон.Описание

Тонкие пленки могут быть твердыми или жидкими (реже газообразными). Состав, структура и свойства тонких пленок могут отличаться от таковых для объемной фазы, из которой образовалась тонкая пленка.

Жидкие тонкие пленки разделяют газообразную дисперсную фазу в пенах и жидкие фазы в эмульсиях; образование устойчивых пен и эмульсий возможно только при наличии ПАВ в составе пленок. Жидкие тонкие пленки могут возникать самопроизвольно между зернами в поликристаллических твердых телах, если поверхностная энергия границы зерна превышает поверхностное натяжение на границе твердой и жидкой фаз более, чем вдвое (условие Гиббса-Смита). Газообразные тонкие пленки с заметным временем жизни могут возникнуть между каплей и объемной жидкостью в условиях испарения.

Определение толщины тонких пленок часто проводят методами, основанными на измерении интенсивности отраженного света, например, при помощи эллипсометрии; используют также электрические методы, основанные на определении емкости и проводимости тонких пленок. Для изучения твердых тонких пленок применяют электронную микроскопию, рентгеновскую спектроскопию и другие методы, разработанные для исследования поверхности твердых тел. Получение тонких пленок и тонкопленочных покрытий лежит в основе ряда современных областей техники, прежде всего микроэлектроники.

• Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.
• Шляхтин Олег Александрович, к.х.н.

Теги

Разделы

Двумерные нанообъекты с характерными толщинами порядка размеров молекул

Искусственные (синтетические) низкоразмерные объекты