Энциклопедический словарь нанотехнологий - эпитаксия твердофазная

Термин на английском

solid phase epitaxy Синонимы

Аббревиатуры

ТФЭ, SPEСвязанные термины

гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, эпитаксия молекулярно-лучевая, методОпределение

способ наращивания эпитаксиальной пленки, при котором сначала при пониженной температуре осаждается неупорядоченная (аморфная) пленка, после чего проводится ее кристаллизация при более высоких температурах (которые, однако, ниже температуры плавления этого материала).Описание

Авторы

• Зотов Андрей Вадимович, д.ф.-м.н.
• Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.

Иллюстрации

Теги

Разделы

Эпитаксиальные слои

Методы нанесения элементов наноструктур и наноматериалов